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    简介


    Suragus面阻测试仪来自德国,其通过涡流的原理测量材料面阻值,该技术是一种非接触式面阻测试技术且测试准确稳定,对于无损检测、在线监测具有重要意义。

     

    规格参数


    测量模式:非接触式实时测量

    衬底:foils, glass, wafer等

    平台尺寸:8 inch / 204 x 204 mm(其他规格请联系)

    面阻范围: 0.0001 to 3,000 Ohm/sq

    薄膜厚度:2nm – 2mm(依据面阻而定)

    设备尺寸:11.4 x 17.5 x 5.5 inch / 290 x 445 x 140 mm@10 Kg

     

     

    功能图解


     

     

     

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    测量模式:非接触式实时测量

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